带着这样的疑惑，鹤田和白石茉莉奈双双跟着周硕走进了地下实验室的大门。

经过穿戴防尘服和除尘通道之后，三个人进入了实验室内部。鹤田望着这庞大的地下空间，不由得有些眼晕。事实上这种密闭的地下空间，也确实比较容易引起一些人的心理反应。

周硕瓮声瓮气的声音，从防尘面罩后面陆陆续续的传了出来：“这是泛翰研究所的蜂巢实验室，负责光刻机沉浸式技术的研发。沉浸式的研发要点总共有三个部分，分别是光源、镜头和防水光刻胶的研制。”

他边走边侃侃而谈道：“我们的光源使用的是365nm的i线弧光灯光源，这样在经过纯水的折射之后，它的波就变成了260nm。而纯水，必须是9个9纯度的去离子水。至于说沉浸式光刻最大的技术障碍，那肯定就是防水光刻胶了。普通光刻胶是无法在水中保持不扩散的，所以必须使用特制的……”

周硕倒是不怎么在乎保密的问题，如果来两个人看两眼、听两句科普就能把技术抄了去，那这种技术也没有什么保密的必要了。沉浸式光刻技术在历史上可是持续研究了十多年，才逐渐投入使用的技术。真要是形成论，绝不会少于一个尼康运资料的木箱。在后世是几种影响线宽因素中，非常重要的一个方面。

他们向实验室内部走去，很快就到了一台机器前面。很明显，白石茉莉奈一眼就看出来，这是一台尼康生产的0.5微米光刻机。此时它能够出现在这里，不言自明是作为改装实验设备。

果然，周硕指着这台两人高的机器说道：“二位，这就是我们泛翰研究院改装之后，性能已经达到0.35微米的尼康光刻机了。”

“经过改装后，它的加工能力达到了0.352微米水平。遗憾的是虽然加工能力提升，但它的良品率也下降了百分之十。”

白石茉莉奈抓住机会，突然打断了周硕的话说道：“周桑，我能离近了观察一下吗？”

周硕挑了挑眉毛，想都没想的点头道：“当然可以，实际上我正想演示一下它的运转过程。如果方便的话，白石经理请你帮忙操作一下旁边的光源系统。”

与此同时他自己也站在光刻机另一边的机柜旁，开始在键盘上操作起控制电脑来。白石茉莉奈对尼康自产的光刻机当然无比熟悉，在周硕的指挥下也很快对光源系统进行了设置。

随着设置的结束，一旁储存晶圆的柜子里，在细微的电机声中突然转动了起来。一片晶圆在机械手的操作下被送上了光刻台，已经
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